আধুনিক ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনের ফিল্ম বেধ পরিমাপ এবং পর্যবেক্ষণ পদ্ধতি

সবচেয়ে সরাসরি আবরণ নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি হল কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল মাইক্রোব্যালেন্স মেথড (QCM), যা সরাসরি বাষ্পীভবন উৎসকে চালাতে পারে এবং বাষ্পীভবনের হার বজায় রাখতে পিআইডি নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে বিভ্রান্তিকর চক্র চালাতে পারে। যতক্ষণ যন্ত্রটি সিস্টেম কন্ট্রোল সফ্টওয়্যারের সাথে সংযুক্ত থাকে, ততক্ষণ এটি সম্পূর্ণ আবরণ প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ করতে পারে। কিন্তু (QCM) এর নির্ভুলতা সীমিত, কারণ এটি তার অপটিক্যাল বেধের চেয়ে জমা হওয়া আবরণের গুণমান পর্যবেক্ষণ করে।

এছাড়াও, কম তাপমাত্রায় QCM খুব স্থিতিশীল থাকলেও উচ্চ তাপমাত্রায় এটি খুব তাপমাত্রা সংবেদনশীল হয়ে ওঠে। দীর্ঘায়িত গরমের সময়, সেন্সরটিকে এই সংবেদনশীল এলাকায় পড়া থেকে আটকানো কঠিন, যার ফলে ফিল্মে উল্লেখযোগ্য ত্রুটি দেখা দেয়।

অপটিক্যাল মনিটরিং হল উচ্চ-নির্ভুল আবরণগুলির জন্য নিরীক্ষণের পছন্দের পদ্ধতি কারণ এটি স্তরের পুরুত্বের (যদি সঠিকভাবে ব্যবহার করা হয়) আরও সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের অনুমতি দেয়। নির্ভুলতার উন্নতি অনেক কারণ থেকে উদ্ভূত হয়, কিন্তু সবচেয়ে মৌলিক কারণ হল অপটিক্যাল বেধের নিরীক্ষণ।

অপ্টিমাল SWA-I-05 একক-তরঙ্গদৈর্ঘ্য অপটিক্যাল মনিটরিং সিস্টেম ডক্টর ওয়াং দ্বারা তৈরি উন্নত অপটিক্যাল মনিটরিং সফ্টওয়্যারের সাথে মিলিত পরোক্ষ পরিমাপ এবং নিয়ন্ত্রণ গ্রহণ করে, ফিল্ম বেধ পরিবর্তনের জন্য অপটিক্যাল প্রতিক্রিয়া সংবেদনশীলতার তত্ত্ব এবং পদ্ধতিকে কার্যকরভাবে উন্নত করতে চূড়ান্ত ত্রুটি কমাতে, প্রতিক্রিয়া প্রদান করে বা মোডের ট্রান্সমিশন পছন্দ এবং বিস্তৃত পরিসরের পর্যবেক্ষণ তরঙ্গদৈর্ঘ্য। এটি অনিয়মিত ফিল্ম পর্যবেক্ষণ সহ বিভিন্ন ফিল্ম বেধের আবরণ পর্যবেক্ষণের জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত।